FR-ES:        精簡薄膜厚度测量特性分析系统

FR-ES 機型設計在以较小的占地面积提供涂层表征性能。它广泛应用于各种不同的测量应用：薄膜厚度、折射率、颜色、透射率、反射率等等。有下列波长范围 FR-ES 配置可用:

VIS/NIR (380-1020nm), UV/NIR (200-850nm), UV/NIR-EXT (200-1000nm), UV/NIR-HR (190-1100nm) NIR-N1 (850-1050nm),

NIR (900-1700nm).

D VIS/NIR (380-1700nm)

        依照不同样品形状尺寸还有各种各样的配件，例如

§       滤光片可阻挡某些光谱范围内的光

§       FR-Mic 提供微米級別区域进行测量

§       手动载物台,  100x100mm或 200x200mm

§       薄膜/比色皿支架用于吸光度/透射率和化学浓度测量的薄膜/比色皿支架

§       积分球用于漫反射和全反射反射率测量

 FR-ES 规格(标准配置) *

精簡薄膜厚度测量特性分析系统配件 

* 规格如有变更，恕不另行通知； ** 厚度范围取决于光谱范围，是指硅基板上折射率约为 1.5 的单层薄膜  ** 与校准的光谱椭偏仪和 XRD 进行比较的测量结果，15 天内平均值的标准偏差的平均值。样品：Si 上 1μm SiO2，100 次厚度测量的标准偏差。样品：Si 上 1μm SiO2，2*15 天内日平均值的标准偏差。